Расчет технологической точности пленочных элементов микросхем.
В основу расчета точности положены функциональные связи выходных параметров пассивных тонкопленочных элементов с электрофизическими параметрами пленок и геометрическими размерами.
R=R
Расчет резисторов
№ R, ОмR,
ОмL, ммB, ммСреднестатистические параметры | ||||||||||
R, Ом | 3sR, Ом | Lср, мм | 3sLср, мм | Bср, мм | 3sBср, мм | |||||
R1 | 16900 | |||||||||
R2 | 1690 |
Для R1:
(R)ту = 500 Ом
(L)ту = 0,005 мм
(В)ту = 0,005 мм
Для R2:
(R)ту = 25 Ом
(L)ту = 0,005 мм
(В)ту = 0,005 мм
1) Определим коэффициент рассеяния:
, i = R, L, B
Для R1:=510/500=1,02=0,008/0,005=1,6=0,014/0,005=2,8
Для R2:=26/25=1,04=0,008/0,005=1,6=0,01/0,005=2
2) Определим случайные относительные погрешности выходного параметра:
R = 5%
Для R1:
L=0,005∙100/50=0,01
B=0,005∙100/9=0,055
Для R2:
L=0,005∙100/6=0,083
B=0,005∙100/11=0,045
3) Расчет технологических режимов изготовления тонкопленочных резисторов методом термовакуумного испарения.
Исходные данные:
R1=500 Ом∙мR2=900 Ом∙м
ТКС1= -1,3∙10-4ТКС2= -1,5∙10-4
Так как испаряемый материал - резистивный сплав РС-3710 мы использовали следующие формулы для расчета: Перейти на страницу: 1 2 3
Другие статьи по теме
Цифровые измерительные приборы Одно из преимуществ цифровых схем по сравнению с аналоговыми заключается в том, что у первых сигналы могут быть переданы без искажений. Например, непрерывный звуковой сигнал, передающийс ...
Преобразование кодов Коды обнаружения или обнаружения и исправления ошибок применяются в вычислительных машинах для контроля правильности передач информации между устройствами и внутри устройств машины, а также ...
Технологический процесс изготовления платы интегральной микросхемы-фильтра Микроэлектроника как современное направление проектирования и производства электронной аппаратуры различного назначения является катализатором научно-технического прогресса. Автоматизац ...